Технологии

ОКБ-Планета разрабатывает и производит СВЧ гибридные интегральные структуры (СВЧ ГИС). 

Производственные возможности

• используемые подложки: поликор, ситалл, керамика, кварц, оптическое стекло и т.д.
• толщина подложек: 0,6 – 2,0 мм (ситалл); 0,15 – 2,0 мм (поликор); 0,2 – 2,0 мм (керамика).
• размеры подложек: 24×30 мм; 48×60 мм
• минимальный размер элемента (зазора): 50(30) мкм 
• материалы резистивных слоёв: сплавы РС 3710; РС 5406; РС 1004; РС4400, Ta, Cr, Ni, сплав Ni/Cr и другие.
• материалы диэлектрических слоев: фоторезист ФП-383, SiO₂, Si₃N₄
• типовые системы металлизации: V-Cu-Ni-Au; V-Cu-Ni-Sn/Bi, Cr-Cu-Ni-Au, Cr-Cu-Ni-Sn/Bi, V-Cu-Ni.
• толщина металлизации: до 40 мкм.

Освоенные технологии (Техпроцессы)

1. Магнетронное напыление резистивных слоёв на лицевую и обратную стороны подложки;
2. Формирование на одной плате резисторов с различным значением Rs;
3. Формирование плат со сквозными металлизированными отверстиями, соединяющими лицевую и обратную сторону плат;
4. Формирование топологии на обеих сторонах подложки с точностью совмещения до 20 мкм;
5. Напыление проводящих слоёв на лицевую и обратную стороны подложки (магнетронное и термическое);
6. Формирование в подложках отверстий произвольной формы в соответствии с требованиями заказчика;
7.  Лазерная подгонка номиналов резисторов с погрешностью не более ±0,1%.

Тонкопленочные терморезисторы 

Резистивные приборы, обладающие высоким температурным коэффициентом сопротивления (ТКС) в широком диапазоне температур.

Предназначены для измерения и регулирования температуры, скорости потоков газов и жидкостей, температурной компенсации элементов электрических цепей, в блоках защиты аппаратуры от перегрузок.

Конструктивно терморезистор представляет собой напылённую на подложку из поликристаллического корунда (содержание Al2O3 98%) плёнку металла (Pt или Ni).

Контактные площадки залужены припоем ПОС-61 (Sn-61, Pb-39%). Рабочая область терморезистора защищена от внешних воздействий пленкой SiO2.

Конструкция и технология тонкопленочных терморезисторов делают возможной регулировку температурного коэффициента сопротивления по желанию заказчика.

Ключевые параметры достаточно легко регулируются технологическим путем при изготовлении очередной партии терморезисторов. Поэтому возможно изготовление терморезисторов различных габаритных размеров, номиналов, удовлетворяющих конкретного заказчика.